Дар соли 2020 дар саросари ҷаҳон беш аз як триллион чип истеҳсол карда шуд, ки ин ба 130 чиптаҳо тааллуқ дорад ва ба ҳар як одами сайёра истифода мешавад.Бо вуҷуди ин, норасоии чипҳои ахир нишон медиҳад, ки ин рақам то ҳол ба ҳадди болоии худ нарасидааст.
Гарчанде ки чипҳо аллакай дар чунин миқёси калон истеҳсол карда мешаванд, истеҳсоли онҳо кори осон нест.Раванди истеҳсоли микросхемаҳои мураккаб аст ва имрӯз мо шаш марҳилаи муҳимтаринро фаро хоҳем гирифт: таҳшинкунӣ, пӯшиши фоторезистӣ, литография, афшура, имплантатсияи ион ва бастабандӣ.
Таваққуф
Марҳилаи таҳшинкунӣ аз пластинка оғоз мешавад, ки аз силиндраи кремнийи 99,99% соф (инчунин "инготи кремний" номида мешавад) бурида шуда, то як қабати бениҳоят ҳамвор сайқал дода мешавад ва сипас филми тунуки маводи ноқил, изолятор ё нимноқил гузошта мешавад. ба вафли, вобаста ба талаботи сохторӣ, то ки қабати якум дар он чоп карда шавад.Ин қадами муҳимро аксар вақт "депозитсия" меноманд.
Вақте ки чипҳо хурдтар ва хурдтар мешаванд, намунаҳои чопи вафлиҳо мураккабтар мешаванд.Пешрафтҳо дар таҳшинкунӣ, литография ва литография калиди хурдтар кардани чипҳо ва ба ин васила идомаи Қонуни Мур мебошанд.Ин усулҳои инноватсиониро дар бар мегирад, ки маводи навро барои дақиқтар кардани раванди таҳшин истифода мебаранд.
Сарпӯши фоторезистӣ
Пас аз он вафлиҳо бо маводи ҳассос бо номи "фоторезист" (инчунин "фоторезист" номида мешаванд) пӯшонида мешаванд.Ду намуди фоторезистҳо вуҷуд доранд - "фоторезистҳои мусбат" ва "фоторезистҳои манфӣ".
Фарқи асосии байни фоторезистҳои мусбат ва манфӣ сохтори кимиёвии мавод ва тарзи аксуламал ба рӯшноӣ мебошад.Дар сурати фоторезистҳои мусбӣ, минтақаи дучори нури ултрабунафш сохторро тағир медиҳад ва ҳалшавандатар мешавад ва аз ин рӯ онро барои кашиш ва таҳшин омода мекунад.Фоторезистҳои манфӣ, аз тарафи дигар, дар минтақаҳои рӯшноӣ полимер мешаванд, ки обшавии онҳоро душвортар мекунад.Фоторезистҳои мусбӣ бештар дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, зеро онҳо метавонанд ҳалли баландтарро ба даст оранд ва онҳоро барои марҳилаи литография интихоби беҳтар гардонанд.Ҳоло дар саросари ҷаҳон як қатор ширкатҳо мавҷуданд, ки барои истеҳсоли нимноқилҳо фоторезистҳо истеҳсол мекунанд.
Фотолитография
Фотолитография дар раванди истеҳсоли чип муҳим аст, зеро он муайян мекунад, ки транзисторҳои чип то чӣ андоза хурд буда метавонанд.Дар ин марҳила, вафлиҳо ба мошини фотолитография гузошта мешаванд ва ба нурҳои амиқи ултрабунафш дучор мешаванд.Аксар вақт онҳо аз як дона рег ҳазорҳо маротиба хурдтаранд.
Нур ба вафли тавассути "плиткаи ниқоб" ворид карда мешавад ва оптикаи литографӣ (линзаи системаи DUV) хурд мешавад ва намунаи схемаи тарҳрезишударо дар плитаи ниқоб ба фоторезистист дар пластинка равона мекунад.Тавре ки қаблан тавсиф шуда буд, вақте ки рӯшноӣ ба фоторезистист, тағироти кимиёвӣ ба амал меояд, ки намунаро дар лавҳаи ниқоб ба рӯйпӯши фоторезистӣ мегузорад.
Дуруст ба даст овардани намунаи ошкоршуда як кори душвор аст, бо дахолати зарраҳо, рефраксия ва дигар нуқсонҳои физикӣ ё химиявӣ дар ин раванд имконпазир аст.Аз ин рӯ, баъзан мо бояд намунаи ниҳоии экспозицияро тавассути ислоҳ кардани намунаи ниқоб оптимизатсия кунем, то намунаи чопшуда тавре ки мо мехоҳем, ба назар расад.Системаи мо "литографияи ҳисоббарор" -ро барои муттаҳид кардани моделҳои алгоритмӣ бо маълумоти мошини литография ва озмоиши вафлиҳо барои тавлиди тарҳи ниқоб, ки аз намунаи ниҳоии экспозиция комилан фарқ мекунад, истифода мебарад, аммо ин чизест, ки мо мехоҳем ба даст орем, зеро ин ягона роҳи ба даст овардани намунаи экспозицияи дилхоҳ.
Эзоҳ
Қадами навбатӣ ин нест кардани фоторезистии харобшуда барои ошкор кардани намунаи дилхоҳ аст.Дар ҷараёни "эч" вафли пухта ва таҳия карда мешавад ва як қисми фоторезистӣ шуста мешавад, то шакли кушодаи канали 3D-ро ошкор кунад.Раванди etching бояд хусусиятҳои гузаронандаро дақиқ ва пайваста бидуни осеб ба якпорчагӣ ва устувории сохтори чип ташкил диҳад.Технологияҳои пешрафтаи коркард ба истеҳсолкунандагони чип имкон медиҳанд, ки намунаҳои дукарата, чоргона ва фосиларо истифода баранд, то андозаҳои ночизи тарҳҳои чипи муосирро эҷод кунанд.
Монанди фоторезистҳо, қишлоқ ба навъҳои «хушк» ва «тар» тақсим мешавад.Гӯшти хушк газро барои муайян кардани намунаи фошшуда дар вафли истифода мебарад.Оташи тар барои тоза кардани вафель усулҳои кимиёвиро истифода мебарад.
Чип дорои даҳҳо қабатҳо мебошад, бинобар ин, кашишро бодиққат назорат кардан лозим аст, то ба қабатҳои поёнии сохтори чипи бисёрқабата осеб нарасонад.Агар максад аз охаш офа-ридани ковок дар сохтор бошад, он гох таъмин кардан лозим аст, ки чукурии ковок комилан дуруст бошад.Баъзе тарҳҳои чип бо то 175 қабат, аз қабили 3D NAND, қадами чӯбро махсусан муҳим ва душвор мегардонанд.
Тазриқи ион
Пас аз он ки нақш ба вафель часпонида мешавад, вафли бо ионҳои мусбат ё манфӣ бомбаборон карда мешавад, то хосиятҳои гузаронандаи қисми намунаро танзим кунад.Ҳамчун мавод барои вафли, кремний ашёи хом на изолятори комил ва на як барандаи комил аст.Хусусиятҳои гузаронандаи кремний дар байни онҳо ҷойгиранд.
Ба кристаллҳои кремний равона кардани ионҳои заряднок, то ҷараёни барқро барои сохтани коммутаторҳои электронӣ, ки блокҳои асосии чип транзисторҳо мебошанд, идора карда шавад, "ионизатсия" номида мешавад, ки бо номи "имплантатсияи ионҳо" низ маълум аст.Пас аз ионизатсия кардани қабат, фоторезистенти боқимонда барои муҳофизати минтақаи накандашуда хориҷ карда мешавад.
Бастабандӣ
Барои сохтани чип дар вафли ҳазорҳо қадам лозим аст ва барои гузаштан аз тарҳ ба истеҳсол беш аз се моҳ лозим аст.Барои хориҷ кардани чип аз вафли, он ба микросхемаҳои алоҳида бо истифода аз арраи алмос бурида мешавад.Ин микросхемаҳои, ки "марги луч" номида мешаванд, аз вафли 12 дюймӣ ҷудо мешаванд, ки андозаи маъмултарин дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешавад ва азбаски андозаи чипҳо гуногун аст, баъзе вафлиҳо метавонанд ҳазорҳо микросхемаҳо дошта бошанд, дар ҳоле ки дигарон танҳо якчанд чип доранд. даҳҳо.
Пас аз он, ин вафли луч ба "субстрат" ҷойгир карда мешаванд - субстрате, ки фолгаи металлиро барои равона кардани сигналҳои вуруд ва баромад аз вафли холӣ ба боқимондаи система истифода мебарад.Пас аз он бо «гармкашӣ», як контейнери хурди муҳофизатии металлии ҳамвор пӯшида мешавад, ки дорои яхдон аст, то ки чип ҳангоми кор сард монад.
Чеҳраи Ширкат
Zhejiang NeoDen Technology Co., Ltd. аз соли 2010 инҷониб мошинҳои гуногуни хурди чинанд ва ҷойгиркуниро истеҳсол ва содирот мекунад. Бо истифода аз R&D ботаҷрибаи худ, истеҳсоли хуб омӯзонидашуда, NeoDen аз муштариёни саросари ҷаҳон эътибори бузург пайдо мекунад.
бо ҳузури ҷаҳонӣ дар зиёда аз 130 кишвар, иҷрои аъло, дақиқии баланд ва эътимоднокии NeoDenМошинҳои PNPонҳоро барои R&D, прототипсозии касбӣ ва истеҳсоли партияҳои хурд то миёна комил созед.Мо ҳалли касбии таҷҳизоти ягонаи SMT-ро пешниҳод мекунем.
Илова: №18, хиёбони Тианзиҳу, шаҳри Тианзиҳу, Шаҳристони Анҷи, шаҳри Ҳучжоу, музофоти Чжэцзян, Чин
Телефон: 86-571-26266266
Вақти фиристодан: апрел-24-2022